Главная  Журналы 

0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 [ 14 ] 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31

Если позиция вьи-рузки 6 свободна, по команде ЭВМ манипулятор извлекает кассеты с отформованными анодами из ванны данного адреса, переносит их на позицию выгрузки 6 и возвращается на позицию 4. Если же по данному адресу ванны получена информация о браке, манипулятор по команде ЭВМ разгружает эту ванну, транспортирует забракованные кассеты на исходную позицию 4 и остается там. С позиции выгрузки 6 каждые 8 мин кассета с годными анодами поступает в приемное устройство установки промывки и сушки. Кассеты с бракованными анодами с позиции 4 удаляются вручную.

Промывка и сушка анодов. Эти операции выполняются на агрегате про-мьшки и сушки (рис. 68) и предназначены для удаления с поверхности анодов остатков электролита и влаги. Для промывки используется проточная деионизованная вода, нагреваемая до 80°С; длительность промывки64 мин. Для повышения качества отмывки воду в ваннах барботируют очищенным сжатым воздухом. Сушку проводят на воздухе при 135-150°С в течение 24 мин.

Кассеты 1 с анодами поступают на подвижные направляющие 2 агрегата с механизма выгрузки установки формовки автоматически или устанавливаются вручную, если агрегат работает автономно. Перемещение кассет вдоль агрегатов производится автоматически шаговым конвейером. Между подвижными направляющими размещена ванна промьшки 3, разделенная перегородками 4 на восемь промьшочных позиций. Поступающие на подвижную направляющую 2 кассеты последовательно проходят обработку на каждой из восьми позиций. При этом подогретая деионизованная вода подается в ванну навстречу движению кассет и каждая из них на последней позиции промывается водой, не загрязненной электролитом. Для ускорения промывки вода в ванне барботируется очищенным сжатым воздухом, подаваемым через барботеры 5.

После промьшки кассеты с анодами передаются в накопитель, откуда поступают на операцию опускания защитных экранов. Накопитель обеспечивает сбор кассет в случае остановки линии, а также их передачу на следующую за ним установку в случае остановки агрегата промывки и сушки. Схема первого накопителя показана на рис. 69.

Опускание защитного экрана. Эту операцию вьшолняют для защиты торца анодной секции и части проволочного вывода от попадания на них азотнокислого марганца при нанесении полупроводниковых слоев. Для опускания экранов в линии используется специальная установка (рис. 70), оператор которой выгружает вручную кассету из накопителя и устанавливает ее в подставку на столешнице анодами вверх. Затем он вынимает из кассеты рейку с анодами, устанавливает ее в приемное устройство установки также анодами вверх и нажатием педали включает механизм опускания экранов.

При этом рейка 5 с анодами закрепляется в пазу базирующей планки I таким образом, чтобы проволочные выводы анодов вошли в пазы замыкающей планки 2, а экраны 4 разместились в гнездах неподвижной губки 3. Подвижная губка 6 прижимает экран 4 к губке 3, после чего планки 7 и 2 вместе с рейкой 5 перемещаются вниз, протяпшая проволочный вывоД через закрепленный экран 4. Движение планок 7 и 2 продолжается до тех 88 ii

2 J

\

Очищенный, доздух


Зеионии-Шной йоды

Рис. 68. Схема агрегата промывки и сушки-1 - кассета с анодами, 2, 9 - подвижная и неподвижная направляюндае, 3 - вшма промывки, 4 - перегородки, 5 - барботер, 6 - нагреватель воды, 7 - камера сушки, 8 - подпружиненный упор, 10 - вентиль, 11 -

ротаметр



Рис. 69. Схема первого накопителя: I - кассета с анодами, 2 - направляюндае агрегата промывки и сушки, 3 - ротор накопителя, 4 - делительный механизм

Рис. 70. Схема установки опускания защитных экранов: 1, 2 - базирующая и замыкающая планки, J, 6 ~ неподвижная и подвижная губки прижима, 4 - защитный экран, 5 -рейка с анодами

Рис. 71. Схема второго накопителя; 1 - кассета с анодами, 2, 5 - направляющие на входе и выходе накопителя. J - ротор накопителя, 4 - звездочка цепной передачи привода




пор, пока торец анода не упрется в торец защитного экрана 4. Затем губка 6 освобождает экран 4 и обе планки и рейка с анодами возвращается в исходное положение. Оператор снимает рейку с анодами с опущенными экранами и укладывает ее в транспортную кассету, затем загружает новую рейку с анодами, нажимает педаль и цикл повторяется. Длительность операции опускания защитного экрана 0,5-0,6 с (без учета времени загрузки и разгрузки реек).

Загруженные кассеты передаются оператором во второй накопитель (рис. 71). Накопители этого типа широко используются в линии для создания межоперационных заделов при отказе какого-либо оборудования, для синхронизации времени выполнения технологических операций, а также для подпитки потока кассет при снижении производительности соседних агрегатов и в других случаях. Всего в линии смонтировано десять таких накопителей: семь перед агрегатом нанесения полупроводникового слоя, два перед агрегатом подформовки и сушки и один перед агрегатом нанесения переходного контактного покрытия.

Подформовка и сушка анодов. Эту операцию вьшолняют для восстановления повреждений оксидной пленки на поверхности анодов, для чего их помещают с формовочным электролитом и подают формовочное напряжение. Выбирают {/ф при рабочем напряжении конденсаторов 6-30 В в пределах от 32 до 50 В. Крайние значения напряжения подформовки соответствуют предельным рабочим напряжениям. Время подформовки 15-45 мин. После подформовки аноды сушат в течение 30 мин при 120-150°С.

На автоматической линии эта операция производится три раза, для чего после второго, четвертого и пятого агрегатов нанесения полупроводникового слоя установлены агрегаты подформовки и сушки (рис. 72). Кассеты 1 с анодами поступают на направляющие 2 агрегата с предыдущего агрегата или устанавливаются оператором вручную и прерывисто перемещаются штанговым конвейером. В зоне ванны 3 направляющие опущены до уровня находящегося в ней формовочного электролита (раствор уксусной кислот-ты). Постоянный уровень электролита в ванне поддерживается с помощью регулируемого по высоте сливного патрубка. Кассеты 1 устанавливаются над ванной 3 так, чтобы аноды бьши полностью погружены в электролит. В это время к кассетам подключается подпружиненный контакт 4, соединенный с положительным полюсом источника питания. Отрицательный полюс источника присоединяется к катоду 5, находящемуся на две ванны. Операция длится 25-30 мин, после чего штанговый конвейер перемещает кассеты на позицию сушки. Сушка производится при 120-150°С в течение 25-30 мин. Образующиеся при сушке пары уксусной кислоты удаляются из камеры системой вентиляции.

Нанесение переходного контактного слоя. Эта операция предназначена для создания на поверхности полупроводника слоя, необходимого для нанесения металлического покрытия, и вьшолняется на специальном агрегате. Для нанесения переходного контактного покрытия используют лакосаже-вую композицию (суспензию), обеспечивающую защиту нанесенного полупроводникового слоя, малое переходное сопротивление и хорошую адгезию с металлом. Операция вьшолняется при температуре суспензии 20-25°С. Суспензию наносят двумя слоями, подсушивая каждый слой горячим 90 g


/ С" агрегата подформовки и сушки-

патрубок


Рис. 73. Схема агрегата нанесения переходного контактного покрытия: 1 ~ кассета с анодами, 2, 3 - неподвижные и подвижные направляющие, 4 - крышка, 5 - ванна с суспензией, 6 - емкости для сбора излишков суспензии, 7 - нож для снятия излишков суспензии с торцов анодов, 8 -сопла, 9 - камера сушки

воздухом (75-95°С). Температура окончательной сушки 240-260°С. Время нанесения покрытия 3 с, а окончательной сушки 35-50 мин. При работе агрегата (рис. 73) кассеты 1 с анодами поступают на неподвижные направляющие 2, перемещаются вдоль них и шаговым конвейером подаются на подвижные направляющие 3. После поступления кассеты подвижные направляющие начинают перемещаться к ваннам 5 с лакосажевой суспензией и останавливаются над ними. Ванны 5, поднимаясь, доходят до анодов, которые погружаются в суспензию примерно на 2/з высоты анодной таблетки и вьщерживаются в течение 3 с.

Суспензия в ваннах автоматически перемешивается. Уровень суспензии в ваннах также поддерживается автоматически, а вязкость контролируется оператором. После нанесения суспензии подвижные направляющие 3 с кассетами 1 возвращаются в исходное положение. При этом аноды, проходя Над ножами 7, освобождаются от излишков суспензии. Когда направляющие 3 останавливаются в исходном положении, кассеты с анодами оказы-



ваются над соплами 8 стрзшных сушил, в которые подается очищенный сжатый воздух, нагретый до 100°С. Температуру сушки устанашшвают в пределах 75-95°С, а время ее не должно превьппать 20 мин. Затем кассеты перемещаются на один пшг и цикл повторяется.

После нанесения второго слоя и его сушки кассеты с анодами поступают в камеру сушки 10 для окончательной полимеризации лакосажевой суспензии (процесс длится 48 мин при 240-260° С) и автоматически передаются на металлизацию.

Металлизация анодов. При зтой операции гальваническим методом создают пленку меди на слое лакосажевого покрытия, обеспечивающую надежный контакт с полупроводниковым слоем. В качестве электролита используют раствор медного к)шороса. Отрицательный потенциал прикладывается к аноду конденсатора, а положительный - к медному аноду, расположенному в ванне. Плотность тока при меднении 0,7 мА/мм (она должна плавно нарастать). Время плавного подъема тока до заданного значения 5-20 с, а меднения до 3,5 мин. Длительность промьшки анодом проточной деионизованной водой 1 мин; скорость подачи воды не менее 2,4 л/мин. Время обдувки анодов очищенным сжатым воздухом 10-15 с (давление воздуха в сети (4-г6) • 10 кПа), а сушки в потоке подогретого воздуха до 40-60° С 20-25 мин.

Операцию выполняют на агрегате гальванической металлизации (рис. 74). Специальный конвейер, в пазы которого вручную вставляют по десять реек с анодами, автоматически передает их на позицию гальванического меднения. Здесь вьшоды анодов зажимаются контактами 3 отрицательного электрода и аноды опускаются в ванну 2 с электролитом. На другой электрод 5 подается положительный потенциал. Контакты 3 погружаются в электролит на 1-2 мм, а аноды - на 2/3. По истечении 3,5 мин контакты вместе с анодами поднимаются из ванны 2, раскрываются и, поворачиваясь вместе с поворотным механизмом 6, поступают в ванну 4, заполненную раствором азотной кислоты. Осевшая на контактах в процессе меднения медь в этой ванне стравливается и контакты перемещаются на промывку проточной деионизованной водой в ванну 7. Время промьшки 4 мин. В это же время рейки с анодами перемещаются конвейером в ванну 8 с проточной деионизованной водой. Ванна 8 поднимается вверх и начинает совершать возвратно-поступательное движение, осуществляя тем самым промывку анодов от остатков электролита. После промьшки аноды обуваются сжатым воздухом и передаются на сушку при комнатной температуре, а затем - на следующую операцию.

Сборка. Схема сборки оксидно-полупроводниковых ковденсаторов на автоматизированной линии приведена на рис. 75. Корпуса и аноды набирают в промежуточные кассеты и передают на две ветви параллельно работающих ленточных конвейеров.

На первой ветви кассеты, в которые набраны аноды с приваренными медными вьшодами, передаются конвейером на операцию подрезки медных вьшодов в один размер, а затем - на операцию монтажа изолятора. При этом проходные стеклянные изоляторы, поштучно подаваемые из вибробункера, автоматически монтируются на каждый проволочный вьшод анодов. В процессе монтажа автоматически контролируется комплектносзъ 92






0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 [ 14 ] 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31